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本实用新型公开了一种晶圆平整度检测仪器，该晶圆平整度检测仪器包括旋转底座、安装架、第一线性模组、连接组件和传感器。旋转底座用于放置晶圆并驱使晶圆转动；安装架设在旋转底座一侧；第一线性模组与安装架连接；连接组件与第一线性模组连接；多个传感器呈...
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