下载半导体存储装置及半导体存储装置的制造方法的技术资料

文档序号:37887881

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

实施方式提供能够降低与多个导电层连接的接触部的接触电阻的半导体存储装置以及半导体存储装置的制造方法。实施方式的半导体存储装置具备:层叠体,其通过将多个第1导电层和多个第1绝缘层一层一层地交替层叠而形成,包括多个第1导电层被加工为阶梯状的阶梯...
该专利属于铠侠股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过铠侠股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。