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本公开提供一种光刻胶图案的形成方法和投影式曝光装置，形成方法包括：提供光刻胶层，将所述光刻胶层置于所述投影物镜的下方，所述光折射板位于所述光刻胶层和所述投影物镜之间；通过所述投影物镜和所述光折射板对所述光刻胶层进行曝光处理，在所述光刻胶层形...
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