温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种谐振器及其形成方法、滤波器、电子设备，谐振器中的第二衬底、支撑层、第一电极、第一金属键合层以及第二金属键合层围成第二空腔，第一金属键合层和第二金属键合层之间为金属键合，因此第一金属键合层和第二金属键合层之间结合紧密，与干膜相比，第一金属...
该专利属于中芯集成电路（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路（宁波）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。