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一种工艺系统包含曝光机台、多个装载端口、接口模块和传送模块。曝光机台包含壳体和设置在壳体中的多个曝光晶圆载台。多个装载端口沿第一方向排列。接口模块连接在曝光机台和这些装载端口之间。传送模块设置在接口模块中。传送模块包含：轨道、升降机、旋转件...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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