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本发明涉及一种用于光刻设备(100A、100B)的光学系统(200)，包括：可移动元件(201)，其被设计为光学元件或参考结构；以及具有第一和第二部分(202a、202b)的功能元件(202)，其中第一部分(202a)通过接合装置沿着紧固平...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
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