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检查系统包括台单元，被配置为在所述台单元上加载空白掩模。提供了侧照明单元，被设置为面对空白掩模的侧表面，并且包括多个LED。提供了与空白掩模邻近的相机。从侧照明单元朝向空白掩模的侧表面照射的检查光束基本上平行于空白掩模的上表面。于空白掩模的...
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