下载半导体装置及其形成方法的技术资料

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一种半导体装置及其形成方法。在一实施例中,装置包括源极/漏极区域,邻接于通道区域;层间介电质,位于源极/漏极区域上;源极/漏极接触,延伸穿过层间介电质且进入源极/漏极区域;金属半导体合金区域,位于源极/漏极接触及源极/漏极区域之间,金属半导...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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