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本实用新型提供了一种测温支架及使用该测温支架的谐振腔和MPCVD设备，属于微波等离子体化学气相沉积技术领域。测温支架包括底座，底座上设有用于固定在窗口法兰或/和密封法兰上的固定结构；测温支架还包括可转动的安装在底座上的调节转台，底座上设有改...
该专利属于河南天璇半导体科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南天璇半导体科技有限责任公司授权不得商用。

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