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本实用新型公开了一种具有流量控制功能的化学气相沉积设备，包括设备壳体，所述设备壳体底端的四个拐角处分别固定有撑脚。该具有流量控制功能的化学气相沉积设备通过使用设备在对薄膜进行制备时，可以将混合后的气相化合物经过进气管中导入并经过电加热丝加热...
该专利属于江苏旭宇腾半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏旭宇腾半导体科技有限公司授权不得商用。

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