温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供了一种多蒸发源装置及真空系统，多蒸发源装置包括：真空法兰；以及多个蒸发源组件，设置在真空法兰上，多个蒸发源组件包括：第一蒸发源组件，包括：第一坩埚，用于盛放第一蒸发源材料；第一加热装置，与第一坩埚热耦合，用于加热第一坩埚中盛放的第...
该专利属于费勉仪器科技（南京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过费勉仪器科技（南京）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。