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本发明提供了一种vcsel芯片及其制备方法,该芯片包括衬底以及设于衬底上的一体式刻蚀台面,一体式刻蚀台面设置为规则形状,一体式刻蚀台面中设有一体式发光区,一体式发光区的面积小于一体式刻蚀台面的面积,一体式发光区设置为规则形状或者不规则形状,...该专利属于江西德瑞光电技术有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西德瑞光电技术有限责任公司授权不得商用。
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