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具有间隔件结构的半导体装置制造方法及图纸
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下载具有间隔件结构的半导体装置的技术资料
文档序号:37804939
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提供了一种半导体装置。所述半导体装置包括:基底;栅极介电层,在基底上,栅极介电层在其侧表面处包括凹槽;栅电极结构,在栅极介电层上;栅极覆盖层,在栅电极结构上;以及间隔件结构,在基底上并覆盖栅极介电层的侧表面、栅电极结构的侧表面和栅极覆盖层的...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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