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本发明提供了一种研磨垫整平器清洗装置，包括箱体、供液组件及超声组件，所述箱体具有顶部开口，一研磨垫整平器由所述顶部开口伸入所述箱体内，所述供液组件用于向所述箱体供应清洗液，所述超声组件位于所述箱体内并用于对所述研磨垫整平器进行超声波清洗，所...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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