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本实用新型公开了一种晶圆加工用转移装置，包括放置盒和运输架，所述放置盒内设有夹持架，所述夹持架上开设有若干通槽，若干所述通槽内夹持有晶圆本体，所述放置盒两侧设有卡合机构，所述运输架设有两放置板，两所述放置板上开设有放置槽，所述放置盒放置在所...
该专利属于江苏宿芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宿芯半导体有限公司授权不得商用。

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