下载压电陶瓷驱动阵列及面形调整方法的技术资料

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本公开提供一种压电陶瓷驱动阵列及面形调整方法,压电陶瓷驱动阵列包括:依次叠设的底板电极层、压电陶瓷阵列及绝缘层,底板电极层包括阵列排布的底板电极;压电陶瓷阵列包括至少一层压电陶瓷阵列单元,多层压电陶瓷阵列单元层叠设置,每一层压电陶瓷阵列单元...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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