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本发明属于真空镀膜领域，公开了一种蒸发制备碳化硼薄膜的方法。包括以下步骤：将硼粉置于蒸发镀膜机坩埚内，将清洗、干燥后的基片放到蒸发镀膜机中坩埚的上方；将蒸发镀膜机抽真空，开启电子枪以高能电子束对硼粉进行融化、蒸发，同时离子源开启，离子源使用...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。

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