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半导体测试结构及半导体参数测试方法技术
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本公开是关于半导体技术领域,涉及一种半导体测试结构及半导体参数测试方法,该测试结构包括有源层、栅极结构、多各引线组以及导电连接层,其中:有源层包括有源组,有源组包括多个沿第一方向间隔分布的有源区;栅极结构在有源组上的正投影贯穿多个有源区;各...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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