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一种表面节流型气足，属于超精密加工技术领域。它结构简单、稳定性好、工作精度高、加工装配方便。静压气浮轴承与承版台通过球铰链连接，静压气浮轴承上开设的腔室利用外部高压气源能够产生向上的推力，使静压气浮轴承受到的合力能够进行动态平衡。发明采用表...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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