一种表面节流型气足制造技术

一种表面节流型气足，属于超精密加工技术领域。它结构简单、稳定性好、工作精度高、加工装配方便。静压气浮轴承与承版台通过球铰链连接，静压气浮轴承上开设的腔室利用外部高压气源能够产生向上的推力，使静压气浮轴承受到的合力能够进行动态平衡。发明专利技术采用表面节流的方法，采用收敛式轴承间隙进行节流，降低了对过滤系统的要求；且加工简单，普通的研磨盘轻轻偏置即可制造出内部的锥形面，隔膜外缘的高度变化的轴承间隙用于进行刚度补偿，提高气足的气膜刚度，提高稳定性。本发明专利技术的表面节流型气足配合球铰与承版台连接，不要求气足的严格共面，提高了加工效率。本发明专利技术具有耗气量小，加工装配简单，稳定性好的优点。稳定性好的优点。稳定性好的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种表面节流型气足


[0001]本专利技术属于超精密加工
，具体涉及一种表面节流型气足。

技术介绍

[0002]机械加工技术在特殊领域对加工精度提出了更高的需求，超精密气体静压导轨或气足等部件有了更多的研究与应用。利用外部高压气源提供的高压气体在间隙内产生的气膜将静压气浮轴承浮起实现零接触，可以有效避免外部环境的震动，部件之间的摩擦等；利用气膜具有气体误差均化的作用，减小气足底部面向误差的影响，能够达到较高的运行直线度；润滑介质为气体，无发热现象，高刚度。除了在超精密加工制造领域，气体静压轴承还可以应用于气浮导轨或气足领域。
[0003]气体静压轴承作为关键元件的气浮导轨或气足的适应能力强，安装维护方便，在较多的场合中应用。
[0004]本专利技术对气体静压轴承应用于气足上进行了探讨。对于一般的空气轴承轴承所能承受的载荷是相当有限的，气膜刚度也是有限的，空气消耗量大，动力稳定性较差。小孔节流，多孔质节流，狭缝节流等节流方式，由于孔隙较小或气膜间隙量级小，对过滤系统要求较高，否则会导致孔隙堵塞无法正常工作；且孔隙尺寸较小，需本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种表面节流型气足，其特征在于：包括承版台(1)、球铰链及静压气浮轴承，所述静压气浮轴承与承版台(1)通过球铰链连接，静压气浮轴承上开设的腔室利用外部高压气源能够产生向上的推力，使静压气浮轴承受到的合力能够进行动态平衡。2.根据权利要求1所述的一种表面节流型气足，其特征在于：所述静压气浮轴承包括从上至下依次设置的供气模块(6)、轴承座(7)及隔膜(9)；所述轴承座(7)套设在隔膜(9)的外侧壁上，所述供气模块(6)与轴承座(7)固定连接，供气模块(6)内设置有供气流道(15)，供气流道(15)一侧与压力源连通，另一侧与隔膜(9)的通气流道(11)连通。3.根据权利要求2所述的一种表面节流型气足，其特征在于：所述隔膜(9)的竖向截面为倒T型，隔膜(9)上部为隔膜通气安装部(16)，下部为隔膜作用部(17)，所述隔膜通气安装部(16)从下方插入固定轴承座(7)的中心孔内，并在隔膜通气安装部(16)的中部开设连通供气流道(15)和隔膜(9)底部的通气流道(11)，高...

【专利技术属性】
技术研发人员：王波，吴言功，范雨欣，乔政，丁飞，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：