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包括导电结构的半导体装置制造方法及图纸
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下载包括导电结构的半导体装置的技术资料
文档序号:37781113
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可以提供一种半导体装置,所述半导体装置包括绝缘结构和在绝缘结构中的导电结构。导电结构包括阻挡层、在阻挡层上的抗迁移层、在抗迁移层上的衬垫、在衬垫上的导电层以及覆盖阻挡层的顶表面和抗迁移层的顶表面的盖层。盖层和衬垫包括Co。抗迁移层包括Mn。...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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