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一种用于处理室的喷头包含：金属板，其附接于该处理室上；陶瓷面板，其附接于该金属板上，并且包含在面向衬底的表面上的多个气体出口；以及金属环，其围绕该陶瓷面板，并且附接于该处理室上。该处理室上。该处理室上。
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该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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