下载电容结构及其形成方法、半导体结构及其形成方法的技术资料

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一种电容结构及其形成方法、半导体结构及其形成方法,涉及半导体制造技术领域,其中电容结构包括:第一电容金属层;第一电容钝化层,覆盖第一电容金属层;第二电容金属层,位于第一电容钝化层上;第二电容钝化层,覆盖第二电容金属层;第三电容金属层,位于第...
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