下载半导体器件及其制作方法的技术资料

文档序号:37771457

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本申请提供一种半导体器件及其制作方法,该半导体器件包括:衬底,该衬底包括主体区和漂移区,该漂移区包括间隔区;位于该衬底上的栅介质层,该栅介质层从该主体区延伸至该漂移区,且与该间隔区边缘邻接;位于该栅介质层上且延伸至该间隔区上方的栅极结构,该...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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