下载含氟二氧化硅玻璃的制造方法的技术资料

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一种含氟二氧化硅玻璃的制造方法,具有:脱气工序,将多孔二氧化硅玻璃体插入到设置于具有气密性的容器内的炉心管内,然后一边对所述炉心管内进行加热一边进行减压脱气;供给工序,在减压下向所述炉心管内供给氟化合物气体;氟添加工序,一边在向所述炉心管内...
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