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一种方法，所述方法包括以下步骤：在基板处理系统中相对于基板处理系统中的固定位置将机器人定位在复数个姿势中，和产生识别相对于在复数个姿势中的机器人的固定位置的传感器数据。所述方法进一步包括以下步骤：依据传感器数据来确定对应于基板处理系统的一个...
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