用于改善的机器人的关节坐标教导准确度的设备、系统和方法技术方案

一种方法，所述方法包括以下步骤：在基板处理系统中相对于基板处理系统中的固定位置将机器人定位在复数个姿势中，和产生识别相对于在复数个姿势中的机器人的固定位置的传感器数据。所述方法进一步包括以下步骤：依据传感器数据来确定对应于基板处理系统的一个或多个部件的复数个误差值，和依据复数个误差值来造成与基板处理系统的一个或多个部件相关联的一个或多个校正动作的执行。联的一个或多个校正动作的执行。联的一个或多个校正动作的执行。

【技术实现步骤摘要】
用于改善的机器人的关节坐标教导准确度的设备、系统和方法
[0001]本申请是申请日为2020年4月10日、申请号为202080028073.5、专利技术名称为“用于改善的机器人的关节坐标教导准确度的设备、系统和方法”的专利技术专利申请的分案申请。


[0002]本公开内容的实施方式涉及用于改善的机器人的关节坐标教导准确度的设备、系统和方法。
[0003]背景
[0004]电子装置制造系统(例如，基板处理系统)包括多个工艺腔室和装载锁定腔室。举例而言，这样的腔室包括在群集工具中，其中复数个工艺腔室环绕传送腔室分布。电子装置制造系统还包括工厂接口与储存区域(例如，前开式标准舱(FOUP))。电子装置制造系统采用铰接式机器人或多臂机器人，铰接式机器人或多臂机器人容纳在传送腔室内，以在各种工艺腔室与装载锁定腔室之间运输基板，并且容纳在工厂接口内，以在储存区域与装载锁定腔室之间运输基板。举例而言，机器人将基板从腔室运输至腔室，从装载锁定腔室运输至工艺腔室，从工艺腔室运输至装载锁定腔室，从装载锁定腔室运输至储存区域，并且/或者从储存区域运输至装载锁定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方法，包含以下步骤：在基板处理系统中相对于所述基板处理系统中的固定位置将机器人定位在复数个姿势中；产生传感器数据，所述传感器数据识别相对于在所述复数个姿势中的所述机器人的所述固定位置；依据所述传感器数据，确定对应于所述基板处理系统的一个或多个部件的复数个误差值；和依据所述复数个误差值，造成与所述基板处理系统的所述一个或多个部件相关联的一个或多个校正动作的执行。2.如权利要求1所述的方法，其中所述传感器数据包含复数个坐标数据点，并且其中所述方法进一步包含以下步骤：将线性拟合应用至所述复数个坐标数据点；确定所述线性拟合的均值、众数或标准差中的至少一者；依据所述线性拟合的所述均值、所述众数或所述标准差中的所述至少一者，丢弃离群坐标数据点；和确定不具有经丢弃的所述离群坐标数据点的所述坐标数据点的第二均值，其中所述复数个误差值包含所述第二均值。3.如权利要求1所述的方法，其中所述传感器数据包含复数个坐标数据点，并且其中产生所述复数个坐标数据点的步骤包含以下步骤：使用延伸于终端受动器的二个点之间的光路径而通过利用所述光路径来检测所述固定位置的周边边缘上的点来识别所述固定位置，所述终端受动器耦接至所述机器人。4.如权利要求1所述的方法，其中所述固定位置是下列项中的一者或多者：设置于基板封闭系统中；设置于校准晶片上；设置于对准器装置上；设置于位置中心查找(LCF)装置上；销的圆柱形部分；或者所述销的梯形底座。5.如权利要求1所述的方法，其中所述传感器数据包含下列项中的一者或多者：使用在所述复数个姿势中的所述机器人而相对于所述固定位置捕获的复数个图像；使用在所述复数个姿势中的所述机器人来识别所述固定位置的第一复数个坐标数据点；使用设置于所述基板处理系统的传送腔室中的对准器装置来识别所述固定位置的第二复数个坐标数据点；或者使用设置于所述基板处理系统的工厂接口中的位置定中心(LCF)装置来识别所述固定位置的第三复数个坐标数据点。6.如权利要求1所述的方法，其中所述一个或多个部件包含下列项中的一者或多者：所述机器人的上臂；所述机器人的前臂；
所述机器人的腕部构件，其中终端受动器耦接至所述腕部构件；对准器装置，所述对准器装置设置于所述基板处理系统的传送腔室中；或者位置中心查找(LCF)装置，所述位置中心查找(LCF)装置设置于所述基板处理系统的工厂接口中。7.如权利要求1所述的方法，其中所述复数个误差值包含下列项中的一者或多者：相对于所述机器人的叶片的晶片中心的纤维束偏移；所述机器人的每个关节的马达或齿轮传动误差；所述机器人的椭圆关节误差；或者所述机器人的连杆归零偏移。8.如权利要求1所述的方法，其中所述一个或多个校正动作的所述执行包含下列项中的一者或多者：执行自动教导操作；执行所述一个或多个部件的校准；或者执行所述一个或多个部件的诊断。9.如权利要求1所述的方法，其中确定所述复数个误差值的步骤包含...

【专利技术属性】
技术研发人员：尼古拉斯，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：