下载芯片制备方法及电子器件的技术资料

文档序号:37766430

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本发明提供了一种芯片制备方法及电子器件,该制备方法包括:在原料片的表面上确定出划片区,除了所述划片区,在所述原料片表面的其他区域涂覆光刻胶;蚀去所述原料片表面最外层的外延层对应在所述划片区内的部分,并暴露出位于所述外延层下方的衬底层;对所述...
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