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本实用新型涉及一种硅圆酸洗工装，包括框体和至少一组支撑组件，框体包括前侧壁、左侧壁、后侧壁和右侧壁，每一组支撑组件包括四个支撑件，每一个支撑件的一端设置在前侧壁上，每一个支撑件的另一端设置在后侧壁上，每两个支撑件位于同一高度，下层的两个支撑...
该专利属于宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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