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光器件制造方法技术
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文档序号:3773010
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本发明提供光器件制造方法。该光器件制造方法沿着划分多个光器件的切割道来分割在基板表面上通过光器件层形成多个光器件的光器件晶片,并将散热片接合到各光器件上,该方法包括:散热材料槽形成工序,在散热材料表面上与划分多个光器件的切割道对应的位置处,...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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