下载用于LED倒装芯片的外延结构及其制备方法的技术资料

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本发明涉及半导体技术领域,具体公开一种用于LED倒装芯片的外延结构及其制备方法,包括:提供一衬底;在衬底上外延生长外延层;所述外延层包括沿外延方向依次沉积的多量子阱层及P型层;所述多量子阱层包括周期性依次交替生长的BGaN阱前保护层、InG...
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