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本发明公开了一种抛光系统，包括：抛光设备，抛光设备包括抛光机构与搬运机构；转运机构，转运机构可拆卸地设置于抛光设备，转运机构用于转运容纳槽，搬运机构用于搬运转运机构上的容纳槽至抛光设备的卸载部，且搬运机构用于搬运放置于卸载部的容纳槽至清洗设...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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