下载半导体器件及其制备方法的技术资料

文档序号:37712809

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本申请提供一种半导体器件及其制备方法,制备方法包括步骤:提供一器件基底,器件基底上设置有金属焊盘;于器件基底上形成绝缘层,并对绝缘层进行图形化以在绝缘层中形成通孔,通孔显露金属焊盘;于绝缘层和金属焊盘上沉积隔离层;去除金属焊盘上的隔离层的第...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

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