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接触式计测装置制造方法及图纸
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下载接触式计测装置的技术资料
文档序号:3770824
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本发明涉及接触式计测装置。本发明是利用压缩空气的力和永久磁铁与磁性体的吸力来进行探针的接触力调整的接触式计测装置。该计测装置控制探针主体内的流体压力并对探针施加拉力或推压力,另外,在安装在探针主体上装有的测微计的可动部前端的永久磁铁与安装在...
该专利属于发那科株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过发那科株式会社授权不得商用。
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