【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及探针的具有接触力调整装置的接触式计测装置。技术背景在机床上对被加工件的三维形状进行计测在进行高精度的加工方面是非 常重要的。作为计测被力。工件的形状的技术， 一直以来公知的有使形状探针的 前端与被加工件的表面接触，计测被加工件的三维形状的触针式形状计测传感 器。触针式形状计测传感器的计测探针用轴承或气动滑板可移动地支撑在探 针轴的轴向，并且，用弹簧或空气压力对探针向被计测件施加预压力。因此， 计测的接触压力随着其位置变化而变动，而且，其接触压力过大，要进一步调 整其接触压力是困难的。为了调整与被计测件接触的探针的接触力，在日本特开2007-155440号公 报中记载了在探针的轴承部分设有加力空间，并向该空间供给压缩空气的接触 式计测装置。该接触式计测装置包括以下各部分向加力空间供给压缩空气朝 向被计测件对探针轴加力而使探针轴移动的加力装置，检测接触头与被计测件 的微小接触压力的微力计测装置，基于由微力计测装置检测到的接触压力控制 加力装置的加力的控制部，计测与被计测件接触的接触头的位置的位移量计测 装置。该接触式计测装置为了进行微小接触力的调整...
【技术保护点】
一种接触式计测装置，其在探针的接触头与计测对象的面已接触的状态下，利用该探针的位移进行计测，其特征在于，具有： 用流体轴承支撑上述探针的探针主体， 控制上述探针主体内的流体压力并对上述探针施加拉力或推压力的流体压力控制机构， 安装在上述探针主体上的距离调整机构； 在上述距离调整机构的可动部上安装有永久磁铁，另一方面，在上述探针的与接触头相反一侧的端部安装有在与上述永久磁铁之间产生斥力或吸力的部件。
【技术特征摘要】
JP 2008-3-12 2008-0632231. 一种接触式计测装置，其在探针的接触头与计测对象的面已接触的状态下，利用该探针的位移进行计测，其特征在于，具有用流体轴承支撑上述探针的探针主体，控制上述探针主体内的流体压力并对上述探针施加拉力或推压力的流体压力控制机构，安装在上述探针主体上的距离调整机构；在上述距离调整机构的可动部上安装有永久磁铁，另一方面，在上述探针的与接触头相反一侧的端部安装有在与上述永久磁铁之间产生斥力或吸力的部件。2. 如权利要求1所述的接触式计测装置，其特征在于，安装在上述探针 上的上述部件是磁性体的板状部件或组装了永久磁铁的板状部件。3. —种接触式计测装置，其在探针的接触头与计测对象的面已接触的状 态下，利用该探针的位移进行计测，其特征在于，具有用流体轴承支撑上述探针的探针主体，控制上述探针主体内的流体压力并对上述探针施加拉力或推压力的流体 压力控制才几构，安装在上述探针主体上的距离调整机构；在上述探针的与接触头相反一侧的端部安装有永久磁铁，另一方面，在上 述距离调整机构的可动部上安装有在与上述永久磁铁之间产生斥力或吸力的 部件。4. 如权利要求1或3所述的接触式计测装置，其特征在于，上述流体压 力控制机构具有调整向上述探针主体内供给的流体压力的压力调整机构或调整上述探针 主体内的真空度的真空度调整机构；以及利用阀对向上述探针主体内流入或流出的流体进行微调的压力微调机构。5. 如权利要求4所述的接触式计测装置，其特征在于，将安装在上述探 针上的部件做成磁性体的板状部件或组装了...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪荣杓，蛯原建三，山本明，羽村雅之，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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