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公开了一种组装的网格托盘，包括框架，所述框架用于保持多个基板托盘以形成用于半导体处理工具中的更大的托盘。所述框架可包括两个外框架构件，所述两个外框架构件保持一个或多个托盘，每个外框架构件都具有与磁悬浮系统一起使用的磁轨。所述框架可进一步包括...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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