下载一种陶瓷基板的表面处理方法的技术资料

文档序号:37706285

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本发明公开了一种陶瓷基板表面处理方法,涉及半导体元器件领域,旨在解决金属化陶瓷基板表面保护问题,其技术方案要点:(1)一次图形制作:将陶瓷基板贴膜曝光显影蚀刻出金属线路图形;(2)喷胶:在陶瓷基板和线路表面均匀的喷上一层光刻胶;(3)二次图...
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