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本发明公开了一种陶瓷基板表面处理方法,涉及半导体元器件领域,旨在解决金属化陶瓷基板表面保护问题,其技术方案要点:(1)一次图形制作:将陶瓷基板贴膜曝光显影蚀刻出金属线路图形;(2)喷胶:在陶瓷基板和线路表面均匀的喷上一层光刻胶;(3)二次图...该专利属于江苏富乐华功率半导体研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏富乐华功率半导体研究院有限公司授权不得商用。
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