下载半导体器件的技术资料

文档序号:37702951

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一种半导体器件包括:衬底,具有单元阵列区和外围区;下电极,设置在单元阵列区上;至少一个支撑层,与下电极接触;介电层,覆盖下电极和至少一个支撑层;上电极,覆盖介电层;层间绝缘层,覆盖上电极的上表面和侧表面;外围接触插塞,在衬底的外围区上穿过层...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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