下载用于改善中心-边缘之间的台阶差和LER的I-线用负性光致抗蚀剂组合物、及用于改善工艺余裕的I-线用负性光致抗蚀剂组合物的技术资料

文档序号:37702541

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本发明的目的在于提供一种相比于现有的I
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