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减少背侧基板接触的基板传送机构制造技术
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下载减少背侧基板接触的基板传送机构的技术资料
文档序号:37701422
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公开一种基板处理系统,包括耦接到传送腔室的基板输入/输出腔室,以及耦接到传送腔室的一个或多个处理腔室,其中基板输入/输出腔室包括多个堆叠载体保持器,并且载体保持器中的一者包括用于在其上支撑基板的基板载体。的一者包括用于在其上支撑基板的基板载...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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