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本发明涉及一种抛光垫平整度测试方法和装置。包括如下步骤：在抛光垫的一个同半径圆周上选取多个测试点；依次测量抛光垫上多个测试点的测试厚度；根据多个测试厚度判断抛光垫的平整度。由于该方法选取抛光垫上一个同半径圆周上多个测试点的厚度来进行平整度判...
该专利属于上海芯谦集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯谦集成电路有限公司授权不得商用。

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