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本发明公开了一种提升晶圆边缘不完整区域套刻精度的方法，对于晶圆边缘每一个不完整区域取出数个量测点，并在与该不完整区域相邻的两个区域内各取数个量测点，使得总的量测点数量超过13个，然后利用上述所有取出的量测点的套刻数据进行高阶拟合运算，得到高...
该专利属于青岛物元技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛物元技术有限公司授权不得商用。

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