下载一种防夹痕的透窗卡塞装置的技术资料

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本实用新型公开了一种防夹痕的透窗卡塞装置,包括:盒盖;所述盒盖开设有卡槽,且所述卡槽位于所述盒盖的中央。本方案将传统卡塞盒盖两处夹槽位置更改为主定位边一处部分,并降低卡槽深度,可有效提升晶圆有效面积,且不会影响产品品质;在不需要重新打开卡塞...
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