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本文描述的实施方式涉及一种用于在真空腔室中将蒸镀材料沉积在基板(10)上的蒸气源(100)。所述蒸气源(100)包括蒸气分配管道(110)，所述蒸气分配管道具有用于将蒸镀材料导向所述基板的多个喷嘴，其中所述多个喷嘴中的至少一个喷嘴(120)...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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