下载具有用于源选择栅极线的隔离结构的三维存储器件及用于形成其的方法的技术资料

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公开了三维(3D)存储器件及用于形成其的方法的实施例。在一个示例中,一种3D存储器件包括:衬底;位于所述衬底上的存储堆叠层;各自垂直地延伸穿过所述存储堆叠层的多个沟道结构;隔离结构;以及对准标记。所述存储堆叠层包括多个交织的导体层和电介质层...
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