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一种用于衬底处理系统的薄遮蔽环包含环形主体，所述环形主体具有内直径和外直径。所述内直径和所述外直径限定所述环形主体的在所述内直径与所述外直径之间的横截面宽度。至少两个突出部从所述环形主体向外径向延伸。所述内直径与所述外直径之间的所述环形主体...
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