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本发明提供晶片保持器具，其构造简单，在对翘曲的晶片进行保持时利用。晶片保持器具具有保持基台，该保持基台具有圆状的保持面且在保持面侧形成有圆环状的第1槽和被第1槽围绕的圆环状的第2槽，并且该保持基台在内部形成有多个第1吸引孔、多个第2吸引孔以...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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