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本发明公开了一种半导体晶圆检测装置，包括底座、驱动器、位移传感器、触针、产品固定装置和显示器，驱动器设置在底座上，触针设置在位移传感器上，产品固定装置设置在底座上，还包括：触发检测装置，其包括连接管、滑杆、导电块、两个金属块、三个气管和发光...
该专利属于江西安芯美科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西安芯美科技有限公司授权不得商用。

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