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本发明关于光学系统，尤其关于光刻系统，其包含：板形部件(214)，尤其是光阑元件；较佳为框形的保持器(216)，用于保持部件(214)；以及多个腹板(218a,b)，用于将板形部件(214)连接到保持器(216)。板形部件(214)可拆卸地...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
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本发明关于光学系统，尤其关于光刻系统，其包含：板形部件(214)，尤其是光阑元件；较佳为框形的保持器(216)，用于保持部件(214)；以及多个腹板(218a,b)，用于将板形部件(214)连接到保持器(216)。板形部件(214)可拆卸地...