本发明专利技术关于光学系统，尤其关于光刻系统，其包含：板形部件(214)，尤其是光阑元件；较佳为框形的保持器(216)，用于保持部件(214)；以及多个腹板(218a,b)，用于将板形部件(214)连接到保持器(216)。板形部件(214)可拆卸地连接到较佳为线形的腹板(218a、b)，该板形部件(214)附接到承载结构，该腹板(218a,b)可拆卸地连接到该承载结构。地连接到该承载结构。地连接到该承载结构。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】特别于光刻系统的光学系统
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求2020年9月17日提交的第102020211663.6号德国专利申请的优先权，该申请的全部内容被视为本申请的一部分，并通过引用并入本申请的公开内容中。
[0003]本专利技术关于一种光学系统，特别是关于一种光刻系统，其包含：较佳为板形的部件(特别为光阑元件)、较佳为框形的保持器、以及用于将部件连接到保持器的多个腹板。
技术介绍
[0004]光刻系统可为用于曝光晶片的光刻装置或是另一微光刻光学系统，例如检查系统，例如用于测量或检查光刻中使用的掩模、晶片等的系统。光刻系统可特别为EUV光刻装置或DUV光刻装置。EUV代表“极紫外光”，且表示所用辐射的波长在0.1纳米到30纳米之间。DUV代表“深紫外光”，且表示所用辐射的波长在30纳米到250纳米之间。
[0005]由腹板或由保持器所保持的部件可例如为操纵器元件(尤其是致动器)或光阑元件。光阑元件在光学系统(特别是在光刻系统)中用于不同的目的，且根据它们在光学系统中的作用而称作例如孔径光阑、遮光光阑、场光阑、杂散光光阑、外光光阑等。
[0006]孔径光阑的任务是参考从外到内的光束路径在径向方向上消减工作光。遮光光阑的任务是覆盖光束路径中的遮蔽物。为此，遮光光阑切出工作光的内部部分——参考径向方向上的光束路径。外光光阑或杂散光光阑通常位于中间像或中间像平面中。场光阑位于场平面中。
[0007]遮光光阑通常由保持器元件(例如通过腹板)保持在光束路径中，以将遮光光阑连接到光束路径外部的保持器。这些保持器元件中的每一个都遮挡了有助于成像的一部分工作光(使用光)中的光束路径。因此，保持器元件通常非常薄且可设计成例如细线的形式、引线的形式、弹簧的形式、或刀片的形式。
[0008]DE 10 2015 201 253 A1描述了具有遮光光阑的投射曝光装置，该遮光光阑具有外光阑环和位于光阑环内的内光阑，用于阻挡工作光束的内部区域。内光阑可通过腹板连接到外光阑环并由腹板固定。腹板可用作导热元件，用于从内部光阑散发热量。
[0009]DE 10 2017 219 266 A1描述了一种光学系统，其具有遮光光阑并具有将遮光光阑保持在光束路径中的保持器。光学系统可具有一解耦装置，用于将热膨胀从遮光光阑解耦到保持器。解耦装置可包含配置在其中一个腹板和保持器之间的弹簧，特别是片弹簧。遮光光阑可具有一光阑元件和多个腹板，这些腹板在一侧连接到光阑元件并在另一侧连接到保持器。弹簧可配置在腹板的其中一者和保持器之间。腹板可与光阑元件形成为一体。
[0010]薄保持器元件在提供足够的抗扭矩刚度方面的能力有限，这意味着遮光光阑只能很困难地稳定，防止倾斜。因此，DE 10 2019 205 959 A1提出塑造光阑的周边区域，在该区域处设置光决定边缘，使得如果光阑绕倾斜轴倾斜，则被光阑遮蔽的横截面保持不变。
[0011]DE 10 2019 209 883 A1提出了使用固持装置，用于光瞳平面中的遮光光阑。固持
装置包含配置在光瞳平面外部的附接元件，用于将固持装置附接到光学系统的固定域。附接元件可设计为线形或刀片形，且可对其施加拉力，以将固持装置紧靠固定域。
技术实现思路
[0012]专利技术目的
[0013]本专利技术的目的为提供一光学系统，其具有改良的部件保持器，特别是光阑元件的保持器。
[0014]专利技术主题
[0015]此目的通过在引言部分中提到的类型的光学系统来实现，其中部件可拆卸地连接到较佳为线形的腹板。
[0016]与DE 10 2017 219 266 A1(其提出了光阑元件和腹板一体成型)相反、或与部件例如通过焊接而连接到腹板的整体连接相反，在根据本专利技术的光学系统中的部件(特别是光阑元件的形式)可拆卸地连接到腹板。可拆卸的连接可例如为夹紧连接或插件连接。将部件可拆卸地连接到腹板简化了部件的调整。这尤其在部件为光阑元件形式的情况下是有利的，其光决定边缘必须相对于光束路径精确地定位。可拆卸连接还允许以简单的方式更换部件。
[0017]腹板可例如以线形方式(以线的形式)设计。如果要对腹板施加预拉力(见下文)，这尤其有益。然而，原则上也可将腹板设计成例如薄刀片的形式、引线的形式、或弹簧的形式。腹板通常沿直线延伸。
[0018]在一具体实施例中，至少一个腹板跨越框形保持器中的开口。在此具体实施例中，至少一个腹板(特别是所有腹板)沿框形保持器从第一位置开始延伸到在框形保持器的相对侧上的第二位置。因此，跨越开口的相应腹板从框形保持器的第一位置开始，然而其并不在部件处终止，而是从那里进一步延伸直到在框形保持器的第二位置。
[0019]框形保持器中开口的几何形状可以多种方式设计，例如圆形、椭圆形或矩形。相应的腹板可从开口的第一侧延伸到开口的相对侧，并例如垂直于同样跨越开口的另一腹板。然而，一个或多个腹板也可能沿着保持器中的例如矩形或圆形开口的对角线延伸。
[0020]在另一具体实施例中，光学系统包含配置在其中一个腹板和保持器之间的至少一个较佳为预拉紧的弹簧，特别是片弹簧的形式。弹簧有可能对相应的腹板施加预拉力。关于使用弹簧来拉紧特别是线形腹板的细节，参考在引言部分中提到的DE 10 2017 219 266 A1，其全部内容通过引用结合到本申请案的内容中。在每种情况下，跨越开口的腹板可在弹簧的协助下在其相对端部预拉紧。
[0021]在一具体实施例中，光学系统包含至少一个长度设定装置，用于设定至少一个腹板的长度。长度设定装置较佳安装在预拉紧的弹簧上(并与该弹簧一起偏转)。长度设定装置可例如具有绕组元件，其以例如圆柱形线圈等方式，其中(线形)腹板沿着其长度的一部分缠绕在该绕组元件上。可通过绕其纵轴旋转绕组元件来设定腹板的长度(在绕组元件外部)。长度设定装置还可具有(至少一个)固定元件，例如夹紧元件等，用于将绕组元件固定在其相对于纵轴的角位置中。当腹板具有其期望的长度时，绕组元件借助于固定元件被固定在其角位置，例如通过将绕组元件夹紧就位使得它不再能够绕其旋转轴旋转。
[0022]将长度设定装置安装在预拉紧弹簧(例如片弹簧)上，即使其长度不经意地增加，
也可能保持腹板预拉紧。举例来说，由于超过屈服极限时的材料屈服或由于腹板温度的升高，会发生不希望的长度增加。当将长度设定装置安装在预拉紧弹簧上时，长度设定装置以及因此与其连接的腹板将偏转，结果为即使在这种情况下也可保持腹板的预拉紧。
[0023]在一具体实施例中，通常为光阑元件形式的板形部件附接到承载结构，该承载结构较佳不横向突出超过板形部件，且腹板可拆卸地连接到承载结构。板形部件可使用可拆卸连接或使用永久连接附接到承载结构。在这种情况下，承载结构形成适配器，以在这种情况下将通常非常薄的板形部件连接到腹板。承载结构可用于悬吊板形部件或支撑板形部件。
[0024]在此具体实施例中的板形部件通常具有小于约500μm的非常低的厚度，例如在200μm本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光学系统，特别是光刻系统(100A,100B)，包含：板形部件(214)，尤其是光阑元件，较佳为框形的保持器(216)，用于保持该板形部件(214)，以及多个腹板(218a
‑
c)，用于将该板形部件(214)连接到该保持器(216)，其中，该板形部件(214)可拆卸地连接到较佳为线形的腹板(218a
‑
c)，其中该板形部件(214)附接到承载结构(230)，其中该腹板(218a,b)可拆卸地连接到该承载结构(230)。2.如权利要求1所述的光学系统，其中至少一个腹板(218a
‑
c)跨越框形保持器(216)中的开口(222)。3.如权利要求1或2所述的光学系统，更包含：至少一个较佳为预拉紧的弹簧(224a
‑
d)，其配置在该腹板(218a
‑
c)的其中一者和该保持器(216)之间。4.如前述权利要求中的一项所述的光学系统，更包含：至少一个长度设定装置(221a
‑
d)，用于设定该腹板(218a,b)的其中一者的长度，其中该长度设定装置(221a
‑
d)较佳安装在该预拉紧的弹簧(224a
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d)上。5.如前述权利要求的任一项所述的光学系统，其中该承载结构(230)不横向突出超过该板形部件(214)。6.如前述权利要求的任一项所述的光学系统，其中该板形部件(214)具有至少一个较佳为杆形的固持元件(240a
‑
f)，其包含用于可拆卸地连接到该腹板(218b,c)的其中一者的固持部分(242d,e)。7.如权利要求6所述的光学系统，其中该固持部分(242d,e)具有至少一个较佳成角度的凹口(246d,e)，用于夹紧连接到该腹板(218b,c)的其中一者。8.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：T，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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